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擴(kuò)散泵油的斷續(xù)沸騰主要是由下列因素引起的：
1.擴(kuò)散泵漏水，可能是擴(kuò)散泵上的兩個進(jìn)氣管漏水，管道密封圈因?yàn)闇囟冗^高（冷卻時間太長）而出現(xiàn)了滲漏、滲漏、熔焊（通常不會出現(xiàn)），通常是更換密封套，更換硅油或者擴(kuò)散泵油.
2.反向擴(kuò)散的氣體分子
3.擴(kuò)散泵油的裂化分解，通常，擴(kuò)散泵的工作油需要在飽和蒸汽壓以下（約0.00000001 Pa）以下，具有良好的耐熱性，不容易被氧化。
4.因化學(xué)反應(yīng)引起的油泵內(nèi)部雜質(zhì)而產(chǎn)生的效果
受吸氣體的反向擴(kuò)散是限制擴(kuò)散泵實(shí)現(xiàn)真空的一個重要原因。氣體的反向擴(kuò)散與分子質(zhì)量相關(guān)，粒子的體積越小，反擴(kuò)散的可能性越大。擴(kuò)散泵抽氫容易發(fā)生反擴(kuò)散，目前存在兩種防止氫氣反擴(kuò)散的方法：一是通過兩個擴(kuò)散泵串聯(lián)作用，減小擴(kuò)散泵的排氣壓力；第二，在擴(kuò)散泵的進(jìn)氣口管線上加裝了液氮冷卻的鈦升華阱，以捕獲反擴(kuò)散的氫氣。
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